fanuc21im系统伺服维修仪器仪表出现故障后，先初步判断故障的几种可能性。在故障范围区域内，把可疑部分电路断开，以确定故障发生在断开前或断开后。通电检查如发现故障消失，表明故障多在被断开的电路中，如故障仍然存在，再做进一步断路分割检查，逐步排除怀疑，缩小故障范围，直到查出故障的真正原因。
对于某些干扰严重的场合，建议将传感器、I/O接口屏蔽层与控制板的控制地相连。(2)给微机控制板输入电源加装EMI滤波器、共模电感、高频磁环等，成本低。可以有效抑制传导干扰。另外在辐射干扰严重的场合，如周围存在GSM、或者小灵通机站时，可以对微机控制板添加金属网状屏蔽罩进行屏蔽处理。(3)给变频器输入加装EMI滤波器，可以有效抑制变频器对电网的传导干扰，加装输入交流和直流电抗器LL2，可以提高功率因数，减小谐波污染，综合效果好。在某些电机与变频器之间距离超过100m的场合，需要在变频器侧添加交流输出电抗器L3，解决因为输出导线对地分布参数造成的漏电流保护和减少对外部的辐射干扰。一个行之有效的方法就是采用钢管穿线或者屏蔽电缆的方法。
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X轴即出现缓慢的正、反向摆动。由于机床在其他位置时工作均正常，因此，机末与伺服驱动系统之间的配合可能会发生部分改变，可能引起伺服系统的局部振动。根据FANUC伺服驱动系统的调整与设定说明，X轴伺服单元上的SSSS13等设定端的设定，消除了机床的振动。一台配套FANUC6ME数控加工中心，在长期使用后，CRT显示431号报警。DGN802检查Z轴的位置误差，考虑到机床伺服系统为半闭环结构，发现伺服驱动系统工作正常，故障清除；Z轴，发现丝杠转动困难，丝杠的轴承发热。经仔细检查，Z轴摩擦阻力过大；重新修理Z轴润滑系统后，机床恢复正常。一台配套FANUC3M系统的数控铣床，在快速移动时，Z轴出现不规则的抖动。
发现有一块物料卡在传送带的间隙中，清除后，变频器工作正常。拆开变频器外壳检查，发现制动斩波器上设有三档进线电压选择装置(400V、500V、690V)以适应不同的进线电压，其中短接环插在690V档上，这样就造成制动斩波器和制动电阻投入工作的门槛值过高而在进线电压为400V的ACS600变频器中未起作用，将短接环移至400V档，通过减少减速时间试验，制动斩波器和制动电阻工作正常。5例变频器故障处理过程(1)变频器驱动电机抖动在接修一台安川616PC5-5.5kW变频器时,客户送修时标明电机行抖动,此时第一反应是输出电压不平衡.在检查功率器件后发现无损坏,给变频器通电显示正常,运行变频器，测量三相输出电压确实不平衡。
fanuc21im系统伺服维修在进行替换前，要先用一点时间分析故障原因，而不要盲目乱换元器件。如故障是由于短路或热损伤造成，则替换上的好元件也可能被损害。再如一只二极管烧坏，可能是由于该管的工作电流和反向峰值电压不够，若此时换上另一只同型号的二极管也仅仅是把故障暂时做了处理，而未。
另外，元器件的更换均应切断电源，不允许通电边焊接边试验。所替换的元器件安装焊接时，应符合原焊接安装方式和要求。如大功率晶体管和散热片之间一般加有绝缘片，切勿忘记安装。在替换时还要注意不要损坏周围其他元件，以免造为故障。